Главная страница сайта О веществе TiO2
Виды диоксида титана Статьи о диоксиде титана


TiC

1000 2000 3000 IK

Рис. 66. Равновесный состав системы с соотношением элементов С: Н : CI: Ti -= 1 :20 :45 :1 при давлении 0,1 МПа

TiC и никаких других конденсированных фаз (особенно углерода) нет. Для того, чтобы добиться таких условий при минимальных температурах (а именно, при минимальных температурах получаются наиболее качественные покрытия),, необходимо уменьшать давление, увеличивать разбавление системы водородом и снижать соотношение CI: Ti.

Последнего можно добиться, применяя в качестве летучего соединения титана не тетрахлорид TiCl4, а дахлориддициклопентадиенил титана (C2Hs)2TiCl2, у которого соотношение CI: Ti = 2:1. Используя это соединение,можно получить в равновесии уже при 500 К значительные количества конденсированного карбида титана, а при 900 °С выход карбида титана в конденсированную фазу составляет 90-100 % [179]. 136

При осаждении карбида титана нежелательным сопутствующим процессом может оказаться осаждение твердого углерода. При прочих равных условиях этот процесс тем более вероятен, чем выше температура осаждения.

Основной недостаток и основные ошибки рассмотренного выше метода расчета равновесия вызваны не тем, что в ЭВМ вводятся термодинамические сведения не всех участвующих в равновесии веществ, а игнорированием образования растворов этих веществ в конденсированной фазе и особенно игнорированием широкой области гомогенности карбида титана.

Термодинамические свойства карбида титана в области гомогенности известны достаточно хорошо для того, чтобы учитывать их при расчетах равновесия процессов осаждения из газовой фазы. Такие расчеты полезны не только потому, что используют более адекватную модель, но и потому, что позволяют определить условия осаждения карбида титана заданного состава и, следовательно, заданных в широких пределах механических и физических свойств. Примеры таких расчетов можно найти в работах [180, 181].

Оказывается, что при осаждении карбида титана из смеси TiCU—СН4— Н2 при постоянной температуре 1900 °С в конденсированной фазе в равновесии может находиться карбид титана при самых различных соотношениях парциальных давлений TiCU и СН4. На рис. 67 жирной линией ограничена область существования карбида титана [181]. Внутри этой области тонкими линиями нанесены изоконцентраты нестехиометри-ческого карбида титана. В левом нижнем углу диаграммы находится область существования в конденсированной фазе титана и карбида TiCo.si, а в правой стороне диаграммы — область существования углерода и карбида TiCo,9 8 •

юС—


 

 

Вернуться в меню книги

 

На правах рекламы

Место свободно

 

Copyright © 2008-2012 TitanDioxide.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Диоксид титана TiO2