Информацию, содержащуюся на диаграмме рис. 67, можно представить в других координатах. Так, для температуры 1800 К зависимость между составом карбида титана, давлением паров TiCU и СИ, изображена в координатах состав карбида титана — давление паров TiCU (рис. 68, а) и состав карбида титана -г- давление паров CrU (рис. 68, б) [182].

Кинетика и механизм осаждения карбида титана из газовой фазы

определяются температурой, соотношением газовых компонентов, общим давлением газа, скоростью газового потока, типом углерода. На структуру покрытия (зернистость, степень кристалличности, преимущественная кристаллическая ориентация), кроме перечисленных факторов, влияют также химический состав и состояние поверхности подложки.

Лимитирующей стадией процесса осаждения может быть либо диффузия компонентов в газовой фазе, либо скорость химической реакции. Среди различных реакций наиболее медленной, как правило, оказывается реакция разложения углеводородов.

При обычных условиях осаждения при низких температурах (ниже 1000—1100 °С) лимитирующей стадией является скорость реакции, а при высоких — диффузия в газе. Отсюда следует, что при одинаковом давлении и составе газа при низких температурах скорость осаждения карбида титана мало чувствительна к изменению скорости газового потока, а при высоких температурах — к изменению температуры. Наглядной иллюстрацией сказанного является рис. 69 [182], из которого следует, что до ~ 1050 °С скорость осаждения карбида титана на подложку ВК6 практически не зависит от скорости потока (кривые 1 и 2 относятся к скоростям потока 1500 и 1000 см3/мин соответственно) и подчиняется закону Аррениуса, а при температурах выше ~ 1050 °С скорость осаждения не зависит от температуры и определяется скоростью потока газа.

В кинетической области скорость осаждения имеет параболический

1150 1100 1050 1000

Рис. 69, Зависимость скорости осаждения карбида титана на подложку ВК6 от температуры при скорости потока 1500 см*/мин (7) и 1000 смэ/мии (2) {осаждение из смеси Tici4 с водородом, насыщенным толуолом прн 18 °0

1000

1

0,78 0,82 103/Т, а"'

Copyright © 2008-2012 TitanDioxide.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Диоксид титана TiO2