Главная страница сайта О веществе TiO2
Виды диоксида титана Статьи о диоксиде титана


толщина покрытия TiC

характер, т.е. толщина покрытия при постоянной температуре увеличивается пропорционально \ft.

В начальной стадии (примерно 1 мин) процесс нестабилен, затем в течение длительного времени скорость осаждения остается постоянной [182].

Как в кинетической, так и в диффузионной области скорость осаждения увеличивается с повышением в газовой смеси парциального давления углеводорода или, что то же самое, увеличением количества углеводорода, проходящего над подложкой в единицу времени (рис. 70,71) [183].

Хотя указанная тенденция справедлива почти для всех условий осаждения карбида титана и подтверждена в многочисленных экспериментах, конкретный вид зависимости скорости осаждения от количества углеводорода в газовой фазе очень сложен, так как на него влияют состав газа, геометрия реактора и другие факторы.

Тип углеводорода или другого углеродсодержащего газа также оказывает существенное влияние на скорость осаждения. Наиболее высокая скорость осаждения получена при использовании парафинов, пен-тана, пропана, этана; наиболее низкая — при использовании метана и монооксида углерода; промежуточное положение занимают олефины, пропилен и этилен [183].

Все сказанное выше о кинетике осаждения карбида титана относится к случаям, когда углерод, необходимый для роста карбидного слоя, поступает из газовой фазы, другими словами, когда подложка не содержит углерода. Если осаждение карбида титана проводить на подложку из графита или даже сплавов, содержащих углерод (углеродистые стали, твердые сплавы), то необходимо учитывать возможность притока угле-140

рода в образующийся карбидный слой из подложки. В предельном случае, если в газовую фазу вообще не вводить углеродсодержащие компоненты, то весь углерод в карбидный слой будет поступать только из подложки. Тогда в обычных условиях осаждения, лимитирующей стадией становится диффузия углерода через растущий слой карбида титана. При этом параболический закон скорости роста слоя и характер температурной зависимости константы скорости сохраняются (рис. 72) [183].

Изменяя условия осаждения, можно получить самую разнообразную


 

 

Вернуться в меню книги

 

На правах рекламы

Место свободно

 

Copyright © 2008-2012 TitanDioxide.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Диоксид титана TiO2