твердость TiC удачно сочетается в этих покрытиях со стойкостью TiN против микроударов.

При нанесении покрытий методом НСД достаточно использовать низкое напряжение для работы пушки и подачу смещения на подложку. Этот способ лучше подходит для промышленного применения потому, что дли осуществления процесса ARE требуется усложненное манипулирование сильноточными приборами в условиях вакуума, что приводит к возникновению проблем техники безопасности.

Установка, используемая в процессе HCD, состоит из пушки, дающей электронный пучок, который отклоняют на медный под с помощью слабого магнитного поля. Через тангаловую трубку полого катода вводят аргон. Между водоохлаждаемым анодом и катодом подается напряжение 50 В при силе тока 130 А. На графитовую подкладку толщиной 6 мм, размещенную на поде,устанавливают титановую "лепешку" массой 30 г. Давление аргона 0,1 Па, скорость осаждения TiC - 0,2 мкм/мин. Температура подложки 650 °С, а в качестве газа-реагенга предпочтительнее использовать метан или этилен, в то время как применение ацетилена приводит к загрязнению стенок вакуумной камеры и тыльной стороны подложки. Методами рентгеновской дифрактометрии и Оже-спектро-скопии установлено, что путем выбора соответствующих условий осаждения может быть получена пленка TiC стехиометрического состава.

Источник питания испарителя

Высокой прочности сцепления покрытия с основой можно достичь с помощью ионной бомбардировки. В СССР разработан метод КИБ (конденсация вещества с ионной бомбардировкой), а за рубежом подобный метод получил название Sputtering или реактивного ионизационного напыления. Метод КИБ, который является наиболее перспективным способом получения покрытий методом ИПН,делится на три стадии: 1) очистка в тлеющем разряде; 2) ионная бомбардировка; 3) осаждение покрытия.

В зависимости от типа испарителей установки КИБ в СССР выпускаются двух типов: "Булат" и "Пуск".

На рис. 85 представлена схема установки "Булат-ЗТ" [222]. В вакуумной камере размещены три электродуговых испарителя, один из которых предназначен для нанесения покрытий на торцевые поверхности, а два — на боковые. Цикл нанесения покрытий на установках типа "Булат" составляет 2-3 ч.

Газовые натекатели позволяют чередовать или совмещать подачу различных газов, в результате чего можно получать многослойные покрытия.

Температура в зоне конденсации является важнейшим фактором, определяющим высокие эксплуатационные характеристики. Она зависит от многих переменных: потенциала на инструментах, давления реакционного газа, тока дуги, расстояния от катода, массы инструментов и др. Поэтому эффективное упрочнение инструментов, в особенности быстрорежущей стали, возможно только при непрерьгвном измерении и корректировке температуры режущих кромок инструментов, для чего наиболее пригодны инфракрасные пирометры.

Однако контроль температуры поверхности при процессе КИБ в настоящее время еще недостаточно отлажен, поэтому стабильного повышения стойкости инструмента из быстрорежущей стали в отличие от твердых сплавов удается получить не всегда.

На одном из заводов создан участок упрочнения инструмента, оснащенный двумя установками "Булаг-ЗМ", на которых упрочняется

Рис. 86. Зависимость стойкости резца ' /

(при v = 14 м/мин, s = 0,046 мм/об, /

t = 5 мм) от толщины 6 покрытия /

(обрабатываемый материал — сталь /

18Х2Н4МА); N0 и N - стойкость реэ- /

ца соответственно до и после упроч- 1,1 U-1-^-'-

нения 3 4 5 6 Лда

Copyright © 2008-2012 TitanDioxide.Ru

Использование материалов сайта возможно при условии указания активной ссылки
Диоксид титана TiO2